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產(chǎn)品名稱：高頻脈沖等離子體氮化電源
輸出功率：500kW
電壓輸入：AC 380V
電流輸入：0-1000V
電壓輸出：40-1000V
電流輸出：800-1000A
負(fù)高壓輸出：-1000V至-40V
工作頻率：0-5000Hz
顯示屏控制程序：15寸觸摸屏
手動控制：
電壓調(diào)節(jié)：多圈電位器
電流調(diào)節(jié)：多圈電位器
1200V 800A斷路器、急停按鈕
通信：RS485
冷卻方式：內(nèi)外兼容水冷+強(qiáng)制風(fēng)冷

產(chǎn)品名稱：160kW大功率直流磁控濺射電源柜
輸入電壓：三相380V/50HZ正弦交流；
輸入電流：≤100A；
輸入電壓誤差：≤額定值的±10%；
三相供電電壓不平衡率：≤5%；
輸入過壓保護(hù)：≥420V；
輸入欠壓保護(hù)：≤350V；
開機(jī)過沖電流：≤150A。
輸出恒定模式：恒流；
電源輸出電壓：≤1kV；
電源輸出電流：0-40A（可調(diào)）；
輸出紋波：±1%；
輸出功率：≤40kW；
輸出過壓保護(hù)：≥1.1kV；
輸出過流保護(hù)：≥44A；
輸出有短路保護(hù)；
內(nèi)部溫度報(bào)警閾值：65℃；
冷卻方式：風(fēng)冷 + 水冷。
海拔：工作時(shí)海拔不超過4500米；
使用環(huán)境溫度：0°C～40°C；
儲存溫度：0°C～70°C；
空氣相對濕度≤90%；無冷凝水或結(jié)冰；
空氣中不得含有腐蝕性蒸汽、顆粒、導(dǎo)電顆粒以及吸潮后會變成導(dǎo)電的顆粒；

產(chǎn)品名稱：100kW直流磁控濺射電源
輸入電壓：三相380V/50HZ正弦交流；
輸入電流：≤50A；
輸入電壓誤差：≤額定值的±10%；
三相供電電壓不平衡率：≤5%；
輸入過壓保護(hù)：≥420V；
輸入欠壓保護(hù)：≤350V；
開機(jī)過沖電流：≤150A。
輸出恒定模式：恒流；
電源輸出電壓：≤1kV；
電源輸出電流：0-20A（可調(diào)）；
輸出紋波：±1%；
輸出功率：≤20kW；
輸出過壓保護(hù)：≥1.1kV；
輸出過流保護(hù)：≥22A；
輸出有短路保護(hù)；
內(nèi)部溫度報(bào)警閾值：65℃；
冷卻方式：風(fēng)冷 + 水冷。
海拔：工作時(shí)海拔不超過4500米；
使用環(huán)境溫度：0°C～40°C；
儲存溫度：0°C～70°C；
空氣相對濕度≤90%；無冷凝水或結(jié)冰；
空氣中不得含有腐蝕性蒸汽、顆粒、導(dǎo)電顆粒以及吸潮后會變成導(dǎo)電的顆粒；

1300kW直流電源：本方案根據(jù)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)以及設(shè)計(jì)需求設(shè)計(jì)，主要包含市電輸入控制、APFC電能質(zhì)量治理、全控整流、操控系統(tǒng)等四大板塊。
輸入電壓：380VAC±15%；
輸出電壓：DC0V～DC1026V；
輸出電流：DC0A~1300A；
輸出功率：≥1300kW；
功率因數(shù)：≥0.9；
結(jié)構(gòu)：采用30寸標(biāo)準(zhǔn)機(jī)柜，后端出線；
整機(jī)效率：≥95%；（計(jì)算值95.7%）；
狀態(tài)監(jiān)測要求：具備RS485通信（標(biāo)準(zhǔn)幀），可監(jiān)測電壓、電流狀態(tài)，并具備輸出限流、過流等保護(hù)功能；
工作時(shí)海拔不超過4500米；
使用環(huán)境溫度：0℃～60℃；
儲存溫度：0℃～70℃；
無導(dǎo)電塵埃的地方；
無爆炸危險(xiǎn)的環(huán)境；
不含有能腐蝕金屬及絕緣的氣體及蒸汽的環(huán)境；
空氣相對濕度≤90%；無冷凝水或結(jié)冰；
空氣中不得含有腐蝕性蒸汽、顆粒、導(dǎo)電顆粒以及吸潮后會變成導(dǎo)電的顆粒；
在垂直面傾斜不超過5度及無劇烈振動和沖擊的地方。

產(chǎn)品名稱：40kw中頻磁控濺射電源

多功能鍍膜電源集成了離子加速與薄膜原料加熱雙重功能，適用于集團(tuán)離子束鍍膜與多弧離子鍍膜，還可以用于直流濺射鍍膜、直流偏壓濺射鍍膜等鍍膜設(shè)備。
多功能鍍膜電源的基本參數(shù)：
引弧電流0~10A，
加熱電流0~120A，
工作電壓0~1200V，
輸出功率0~120kW，
輸入電壓：三相380V
輸入電流：≤100A
輸出電壓：≤1kV
輸出電流：0~20A（可調(diào)）
輸出紋波：±1%
輸出功率：≤20kW
輸出頻率：80kHZ
冷卻方式：水冷或風(fēng)冷

產(chǎn)品名稱：40KW偏壓電源
輸入電壓：三相380V/50HZ正弦交流
輸入電流：≤100A
輸出電壓：≤1kV
輸出電流：0~40A（可調(diào)）
輸出紋波：±1%
輸出功率：≤40kW
冷卻方式：水冷或風(fēng)冷

產(chǎn)品名稱：20KW直流磁控濺射電源
輸入電壓：三相380V/50HZ正弦交流
輸入電流：≤50A
輸出電壓：≤1kV
輸出電流：0~20A（可調(diào)）
輸出紋波：±1%
輸出功率：≤20kW
冷卻方式：水冷或風(fēng)冷

產(chǎn)品名稱：40kw中頻磁控濺射電源
輸入電壓：三相380V/50HZ正弦交流
輸入電流：≤100A
輸出電壓：≤1kV
輸出電流：0~40A（可調(diào)）
輸出紋波：±1%
輸出功率：≤40kW
輸出頻率：80kHZ
冷卻方式：水冷或風(fēng)冷